用于半導(dǎo)體熱處理工藝的ppm級(jí)微氧測量系統(tǒng)

簡要描述：深圳倍拓代理德國mesa微氧測量系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的熱處理工藝。

產(chǎn)品型號(hào)：mesa
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-12-03
瀏覽次數(shù)：216

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

詳情介紹

德國MESA微氧測量系統(tǒng)，專用于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的熱處理工藝。

德國MESA微氧測量系統(tǒng)是通過抽取氣體到特制測量室，然后通過Lambda探頭在穩(wěn)定受控的溫度下進(jìn)行微氧測量的精密系統(tǒng)，可以輸出模擬信號(hào)對(duì)應(yīng)ppm氧含量。

量程： 0…5 / 10 / 100 / 10000 ppm

精度： ± 1 % FS

優(yōu)勢(shì)：四點(diǎn)校正

輸出： 0 (4)…20mA 或 0…10V

產(chǎn)地：德國（ISO 9001 : 2015認(rèn)證）

適用行業(yè)：半導(dǎo)體

主要客戶： Mattson

德國MESA微氧測量系統(tǒng)采用氧化鋯探頭（Lambda探頭）設(shè)計(jì)，可以保持在恒定600℃測量，不受爐內(nèi)溫度影響，Lambda探頭工作狀態(tài)穩(wěn)定，使用壽命比其它同類產(chǎn)品更長，實(shí)際使用壽命可到10年之久；

德國MESA微氧測量系統(tǒng)，每一個(gè)Lambda探頭均有其獨(dú)特的零點(diǎn)漂移系數(shù)K1和溫度補(bǔ)償系數(shù)K2，從而使智能電源輸出的測量信號(hào)更為精準(zhǔn)。量程和輸出類型可選。亦可將測量結(jié)果通過RS232/RS485等接口連接至上位機(jī)，實(shí)現(xiàn)集中控制功能。

留言詢價(jià)

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：西門子SIEMENS氣體分析儀

下一篇：德國metrotec便攜式氧分析儀

用于半導(dǎo)體熱處理工藝的ppm級(jí)微氧測量系統(tǒng)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：